半導(dǎo)體核心原料-光刻膠

來(lái)源：作者：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2023-06-30 08:50:00【大中小】

光刻膠是一種在半導(dǎo)體制造中廣泛使用的材料，它可以幫助制造微電子器件。光刻膠的優(yōu)勢(shì)在于它可以通過(guò)紫外線曝光形成圖案，然后通過(guò)化學(xué)腐蝕或離子注入等方式進(jìn)行加工，從而實(shí)現(xiàn)微小結(jié)構(gòu)的制造。

光刻膠具有高分辨率、高精度、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，可以幫助制造微小結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)更高的性能和光刻膠更小的尺寸。此外，光刻膠還具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度，可以在復(fù)雜的加工環(huán)境中保持穩(wěn)定性。

光刻膠的應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括半導(dǎo)體、光電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造中，光刻膠可以用于制造微處理器、存儲(chǔ)器、傳感器等器件。在光電子領(lǐng)域，光刻膠可以用于制造光學(xué)器件、光纖等。在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，光刻膠可以用于制造微流控芯片、生物芯片等。

在光刻膠的制備過(guò)程中，需要用到以下原料：

（1）光刻膠單體：光刻膠單體是制備光刻膠的基礎(chǔ)原料，通常是一種含有苯環(huán)的有機(jī)化合物，如甲基丙烯酸甲酯（MMA）或苯乙烯（Styrene）等。

（2）光引發(fā)劑：又稱光敏劑，是光刻膠中的關(guān)鍵成分，它能夠吸收紫外線并引發(fā)聚合反應(yīng)。常用的光引發(fā)劑包括苯乙烯基二硝基苯酰胺（DAN）、苯乙烯基二異氰酸酯（DIP）等。

（3）溶劑：溶劑是光刻膠中的溶解介質(zhì)，可以調(diào)節(jié)光刻膠的黏度和流動(dòng)性。常用的溶劑包括甲苯、二甲苯、丙酮等。

（4）添加劑：添加劑是為了改善光刻膠的性能而添加的輔助劑，如增塑劑、穩(wěn)定劑等。

以上是光刻膠制備過(guò)程中需要用到的主要原料。在實(shí)際應(yīng)用中，根據(jù)不同的工藝要求和產(chǎn)品性能需求，還可能需要添加其他的輔助劑。

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光刻膠單體

Krf單體&特殊單體

3-叔丁氧基苯乙烯 CAS: 105612-79-1	4-叔丁氧基苯乙烯 CAS: 95418-58-9	4-乙烯基苯基碳酸叔丁酯 CAS: 87188-51-0
4-乙烯基苯基乙酸酯 CAS: 63600-35-1	4-乙酰氧基苯乙烯 CAS: 2628-16-2	9-蒽甲酸 CAS: 723-62-6
二環(huán)戊二烯環(huán)氧化物 CAS: 81-21-0	甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 CAS: 31645-35-9	雙(7-氧雜雙環(huán)[4.1.0]庚烷-3-甲基)己二酸酯 CAS: 3130-19-6
9,9-二[(2,3-環(huán)氧丙氧基)苯基]芴（BOAFL） CAS: 47758-37-2

光刻膠單體-Arf單體

1-甲基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 CAS: 178889-45-7	1-乙基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 CAS: 266308-58-1	2,2-二甲基丙基甲基丙烯酸酯 CAS: 2397-76-4
1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 CAS: 16887-36-8	2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯 CAS: 177080-67-0	2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯(EAMA) CAS: 209982-56-9
2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 CAS: 297156-50-4	3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 CAS: 115372-36-6	甲基丙烯酸三氟乙酯 CAS: 352-87-4
異丁烯酸 1,1-二甲基丁基酯 CAS: 100472-88-6	異丁烯酸 1,1-二甲基戊基酯 CAS: 1004549-78-3

光刻膠單體-UV單體

N-丙烯酰嗎啉
CAS: 5117-12-4

丙烯酸異冰片酯
CAS: 5888-33-5

甲基丙烯酸羥乙酯
CAS: 868-77-9

其他

2,2-雙(4-環(huán)氧丙氧基苯基)丙烷 CAS: 1675-54-3	芐基縮水甘油醚 CAS: 2930-05-4	2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環(huán)氧乙烷 CAS: 2653-39-6
1-甲基-4-(2-甲基環(huán)氧乙烷基)-7-氧雜雙環(huán)[4.1.0]庚烷 CAS: 96-08-2	1-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 CAS: 76392-14-8	1-乙基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 CAS: 274248-09-8
1-異丙基-1-環(huán)己醇甲基丙烯酸酯 CAS: 811440-77-4	2-環(huán)己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 CAS: 186585-56-8	環(huán)己基異丁烯酸酯 CAS: 101-43-9
丙烯酸1-乙基環(huán)戊酯 CAS: 326925-69-3	丙烯酸甲基環(huán)戊酯 CAS: 178889-49-1	甲基丙烯酸甲瓦龍酸內(nèi)酯 CAS: 177080-66-9
2-甲基丙烯酸酯-四氫吡喃 CAS: 52858-59-0	γ-丁內(nèi)酯-3-基異丁烯酸酯 CAS: 130224-95-2	甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯 CAS: 15895-80-4
2-羰基-四氫呋喃-3-羥基-甲基丙烯酸酯 CAS: 195000-66-9	2-氧代四氫呋喃-3-基丙烯酸酯 CAS: 328249-37-2	甲基丙烯酸(2-氧代-1,3-二氧戊環(huán)-4-基)甲酯 CAS: 13818-44-5
(5-氧代四氫呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 CAS: 156938-09-9	吡唑 CAS: 288-13-1	N-甲基吡咯烷酮 CAS: 872-50-4
甲基丙烯酸叔丁酯 CAS: 585-07-9	1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯 CAS: 2082-81-7	乙二醇二甲基丙烯酸酯 CAS: 97-90-5
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 CAS: 13695-31-3	2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 CAS: 1176273-16-7	甲基丙烯酸 2-乙基己酯 CAS: 688-84-6
N-異丙基甲基丙烯酰胺 CAS: 13749-61-6	丙烯酸羥丙酯 CAS: 25584-83-2(91313-64-3)	甲基丙烯酸二乙氨基乙酯 CAS: 105-16-8
2-甲基丙-2-烯酸1-乙氧基乙酯 CAS: 51920-52-6	2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 CAS: 4224-69-5	甲基丙烯酸羥丙酯 CAS: 27813-02-1
2,3-二羥基丙烯酸丙酯 CAS: 10095-20-2	2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) CAS: 131787-39-8	2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 CAS: 13732-00-8
2-羧基-4-降冰片內(nèi)酯-5-甲基丙烯酸酯 CAS: 254900-07-7	2-羧基-4-降冰片內(nèi)酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯 CAS: 347886-81-1	甲基丙烯酸異冰片酯 CAS: 7534-94-3
1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 CAS: 216581-76-9	1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 CAS: 81665-82-9	1-丙烯酸金剛烷酯 CAS: 121601-93-2
2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 CAS: 325991-26-2	2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 CAS: 249562-06-9	2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 CAS: 303186-14-3
2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 CAS: 251564-67-7	丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 CAS: 7398-56-3	甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 CAS: 34759-34-7
2-(2,2-二氟乙烯基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷 CAS: 123455-94-7	1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 CAS: 157057-20-0	2-甲基-2-丙烯酸 4-羥基苯基酯 CAS: 31480-93-0
1-異丙氧基-4-乙烯基苯 CAS: 128761-28-4	3-(4-乙烯基苯氧基)-1-丙烯 CAS: 16215-47-7	3,5-二乙酰氧基苯乙烯 CAS: 155222-48-3
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 CAS: 69260-42-0	4-異丙基苯酚 CAS: 4286-23-1	3,4-二乙酰氧基苯乙烯 CAS: 57142-64-0
2-乙烯基萘 CAS: 827-54-3	(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 CAS: 583036-99-1	N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 CAS: 85342-62-7
5-甲基苯并三氮唑 CAS: 136-85-6	6-(2-甲基-1-氧代-2-丙烯-1-基)-6-氮雜雙環(huán)[3.2.0]-7-庚酮 CAS: 1267624-16-7	(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 CAS: 111281-12-0
二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽 CAS: 194999-85-4	雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸鹽 CAS: 84563-54-2	雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 CAS: 5421-53-4
二苯基碘酰氯 CAS: 1483-72-3	二苯基溴化碘 CAS: 1483-73-4	二苯基碘 CAS: 2217-79-0
三苯基溴化锍 CAS: 3353-89-7	二苯基 4-叔丁基苯基锍九氟丁烷磺酸鹽 CAS: 258872-05-8	三苯基碘化硫鎓鹽 CAS: 3744-08-9
三苯基锍四氟硼酸鹽 CAS: 437-13-8	三苯基硫鎓六氟化磷鹽 CAS: 57835-99-1	全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 CAS: 144317-44-2
三苯基锍與三氟甲磺酸鹽 CAS: 66003-78-9	(4-甲氧基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽 CAS: 116808-67-4	(4-氟苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 CAS: 154093-57-9
三苯基氯化硫鹽 CAS: 4270-70-6	8-羥基喹啉鋁 CAS: 2085-33-8	硫氰酸胍 CAS: 593-84-0

光引發(fā)劑（光敏劑）（更多產(chǎn)品來(lái)電咨詢：400-021-8158或021-50272975

2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉苯基)丁酮（光引發(fā)劑-369） CAS: 119313-12-1	2-(4-甲基芐基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-嗎啉苯基)-1-丁酮（光引發(fā)劑-379） CAS: 119344-86-4	1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮 1-(O-乙酰肟) （光引發(fā)劑-OXE-02） CAS: 478556-66-0
2,2-二乙氧基苯乙酮 CAS: 6175-45-7	2-羥基-2-甲基-1-（4-甲氧基）苯基-1-丙酮 CAS: 15482-17-4	2-乙基蒽醌 CAS: 84-51-5
4-苯甲酰基-4'-甲基-二苯硫醚（光引發(fā)劑-BMS） CAS: 83846-85-9	4-異丁基苯基-4'-甲基苯基碘六氟磷酸鹽（光引發(fā)劑-250） CAS: 344562-80-7	3-甲基-4-苯基二苯甲酮（光引發(fā)劑-6012） CAS: 86428-83-3
2,2'-雙(鄰氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-雙咪唑（光引發(fā)劑-BCIM） CAS: 7189-82-4	苯甲酸二甲基氨基乙酯 CAS: 2208-05-1	二苯基-(4-苯基硫)苯基锍六氟銻酸鹽（光引發(fā)劑UVI-6976） CAS: 71449-78-0
二[4-二苯基硫苯基]硫醚二六氟銻酸鹽 CAS: 8945-2-37-9	二苯基-(4-苯基硫)苯基锍六氟磷酸鹽（光引發(fā)劑UVI-6992） CAS: 68156-13-8	1,1'-(亞甲基二-4,1-亞苯基)雙[2-羥基-2-甲基-1-丙酮] （光引發(fā)劑-127） CAS: 474510-57-1
光引發(fā)劑-EPBF	1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛烷二酮 2-(O-苯甲酰肟) （光引發(fā)劑-OXE-01） CAS: 253585-83-0	光引發(fā)劑-PAG-005
光引發(fā)劑-PAG-006	雙(4-(二苯基锍)苯基)硫醚-雙六氟磷酸鹽 CAS: 74227-35-3	雙(4-叔丁苯基)碘鎓六氟磷酸鹽 CAS: 61358-25-6
雙官能度酮砜 CAS: 272460-97-6	雙官能團(tuán)A-羥基酮 CAS: 71868-15-0	四乙基米氏酮（光引發(fā)劑-EMK） CAS: 90-93-7
碳酸丙烯酯 CAS: 108-32-7	2-甲基-2-(4-嗎啉基)-1-[4-(甲硫基)苯基]-1-丙酮（光引發(fā)劑-907） CAS: 71868-10-5	(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦（光引發(fā)劑-TPO） CAS: 75980-60-8
2-異丙基硫雜蒽酮（光引發(fā)劑-ITX） CAS: 5495-84-1	安息香雙甲醚（光引發(fā)劑-BDK） CAS: 24650-42-8	2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮（光引發(fā)劑-1173） CAS: 7473-98-5
1-羥基-環(huán)已基-苯基甲酮（光引發(fā)劑-184） CAS: 947-19-3	2,4-二乙基硫雜蒽酮（光引發(fā)劑-DETX） CAS: 82799-44-8